| 電子級25t/h高純水設備介紹 |
| | |
| | |
| | |
 |
| | |
| | |
| | |
| 系統處理工藝流程圖 |
| | |
| 原水→原水箱→增壓泵→全自動盤式過濾器→保安過濾器→超濾系統→超濾水箱→增壓泵→阻垢劑加藥系統/還原劑加藥系統→保安過濾器→高壓泵1→反滲透裝置1→中間水箱→PH調節裝置→高壓泵2→反滲透裝置2→純水箱→輸送泵→過濾器→EDI電除鹽系統→EDI高純水箱→輸送泵→拋光混床→TOC去除器→過濾器→用水點 |
| | |
| 注:本系統采用反滲透膜處理工藝,主要有四個部分組成,預處理系統、二級反滲透主機系統、EDI電除鹽系統、拋光混床系統; |
| | |
| 原水采用自來水通過增壓泵增壓進入石英砂過濾器、活性炭過濾器和軟化器過濾,去除水中的懸浮物、膠體、有機物及余氯,配套有絮凝劑加藥系統和阻垢劑加藥系統,可有效降低水中渾濁度,防止反滲透膜的結垢,提高反滲透膜的使用壽命; |
| | |
| 二級反滲透系統采用美國陶氏反滲透膜技術,自動制膜技術有效保證每支膜的水處理性能。I級反滲透采用BW30-400型號的反滲透膜,該膜具有脫鹽率較高、操作壓力較小,抗污染性能,膜的脫鹽率可以達到99.7百分之;二級反滲透膜采用BW30-365系列膜,該膜廣泛使用二級反滲透系統中。二級反滲透出水水質電導率可以達到4微西門子以下; |
| | |
| EDI電除鹽系統采用西門子模塊,EDI作為綠色脫鹽模式,具有以下優點:占地面積省、運行成本低、系統設計簡單、水質穩定、安裝維修簡便、綠色環保,不需要酸堿再生、可實現連續生產。EDI出水電阻率可以達到15~17兆歐; |
| | |
| 拋光混床系統采用上海樹脂廠和羅門哈斯合資品牌拋光核級樹脂,拋光混床作為制取超純水的核心部件,經處理后出水可以達到18兆歐以上,滿足微電子行業用水要求; |
| | |
| 系統中電氣控制情況 |
| | |
| 本設備采用觸摸屏PLC控制,系統中各工藝點的運行情況,在觸摸屏中都有所設計,系統故障有報警及指示功能,可以通過觸摸屏直觀的了解設備運行情況、故障分析; 該設備中的水箱和水泵均設計有液位連動控制,可以實現系統無人值守; 高壓泵均設計有壓力保護裝置; 系統中的電導率儀和電阻率儀均有報警和信號輸出功能; |
| | |
| | |
| 技術參數總表 |
| | |